保证水平的旋转精度0.02μm 在行业内在Z、R、θ各轴 采用高精度空气轴承 此外,立柱、基座、R轴使用的是辉长岩,随使用时间发生的变化 小。长期保证水平的高精度。 实现了世界水平的率测量 60秒以内完成调平/调心,实现了率测量。 半直径测量功能( ※需要R轴用校正标准器) 采用带全方向安全功能的传感器 在测量到向测针施加了过大负荷时紧急停止起作用而不对测针、 传感器造成损害。 通过再现的自动测量功能 可实现从多个截面的测量到打印的完全自动化。 可配置偏置型传感器保持架(选配)已取得专利 各种各样的工件都不会与R轴干涉,可轻松进行测量。