基本参数
X向量程:150mm
X轴指示精度:±(1+0.025L)μm
Z1向量程:24mm
Z1指示精度:±(1+|0.02H|)μm
Z轴(立柱):450mm
直线度: 1μm/100mm
水平精度:±(1+0.02L)μm
垂直精度:±(0.8+|0.02H|)μm
检测方法:X轴 新型数字式传感器 0.2μm
Z1轴 新型数字式传感器 0.01μm
驱动速度: X轴 Z轴(立柱) 4档,可自定义速度
测量速度:X轴: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定义
驱动方式:X轴 Z轴 均为电动